Gatan社ではこの度、SEM用カソードルミネッセンスシステムMonoCL4の後継機種であるMonarcの販売を開始致しました。

Monarcでは刷新された光学系により、より高感度・短時間での測定を実現しました。また自動アライメント機能の追加により、初心者の方でも高品質なデータを高い再現性で取得する事が出来ます。さらにオプションの超薄型ミラーを使用する事により、これまで困難であったCL検出器とSEMのIn-lens検出器の同時利用が可能となりました。最上位モデルでは、角度分解CL（ARCL）、波長・角度分解CL（WARCL）や、独自の偏光フィルタを用いたCLなどの新たな測定手法により、SEM用CLの可能性を広げます。

本ウェビナーでは、従来の手法を用いた測定におけるデータの高速・高品質化の事例と共に、新しい測定手法についてご紹介致します。

スピーカー

佐伯 哲平
営業課長
株式会社日本ローパー　ガタン事業本部

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