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エネルギー損失分光法のデータ取得における直接検出型検出器のアドバンテージ

When May 25 2018 10:00 AM - 11:00 AM (JST)

直接検出型カメラ、特にGatan社製K2カメラは、クライオTEMの分野において革命をもたらし、また像観察と電子線回折の双方のその場TEM観察に強力なアドバンテージを有しています。これまでにも点像分布関数の改善と電子カウンティング機能はEELS測定に大きなメリットがあることが示されてきました。点像分布関数の改善によって、より広いエネルギー範囲からデータを取得することが可能となり(小さなスペクトロメータの分散量)、同時に微細構造をシャープに維持しスペクトルの裾を大幅に低減します。また電子カウンティング機能によって、検出器の信号読み出しに伴うノイズをほぼ除去し、同時に検出器のゲインのばらつきによる信号量に比例したノイズも大幅に低減します。これによって残るノイズ源はショットノイズのみに限定されます。結果としてEELSデータの取得において、標準的な取得条件下ではよりシンプルに微細構造の解析が可能となり、さらに信号強度が低い場合における解析が実現されます。

本ウェビナーでは、EELS測定に必要な測定条件に触れながら電子カウンティング検出器の現状について総括します。

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図 1: a,b) 直接検出型検出器の電子カウンティングモードを使用し、STEMモードで取得したCu-KとNi-K、それぞれ9 keVと8.3 keVロスのEELSスペクトラム。シグナル・ノイズ比に優れ、スペクトルを明瞭に観察可能です。C) Ni-Kを赤色、Cu-Kを緑色で表示したEELS元素マップ。ここでは非常に大きなエネルギーロスのエッジであっても、STEMモードでデータ取得を行い、観察し、そして信号を抽出して高コントラストの元素マップを生成することが出来ることを示しています。